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6月17日A股市場走勢分化，上證指數(shù)飄綠，跌幅0.16%，創(chuàng)業(yè)板指飄紅，漲幅0.46%。半導(dǎo)體設(shè)備板塊表現(xiàn)亮眼，跟蹤中證半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備ETF國泰（159516）盤中大漲超5%，成交額18.90億元，目前已連漲2天。

資金流向方面，該ETF已連續(xù)3個交易日實(shí)現(xiàn)資金凈流入，其中2026年6月12日凈流入6.34億元，6月15日凈流入5.39億元，6月16日凈流入4.78億元，近5日合計(jì)資金凈流入11.29億元。份額數(shù)據(jù)顯示，其總份額自6月11日的162.33億份增長至174.37億份，增幅達(dá)7.4169%，最新規(guī)模為242.78億元。

半導(dǎo)體材料和設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心支撐環(huán)節(jié)，也是國產(chǎn)替代進(jìn)程的關(guān)鍵領(lǐng)域，行業(yè)中長期成長邏輯明確。華西證券指出，受進(jìn)口管制升級影響，浸沒式光刻機(jī)、低溫蝕刻、薄膜沉積等關(guān)鍵制程設(shè)備國產(chǎn)替代邏輯持續(xù)受益，半導(dǎo)體設(shè)備板塊擁擠度處于較低分位，仍具較高配置性價比，可積極布局。

半導(dǎo)體設(shè)備ETF國泰（159516）緊密跟蹤中證半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)，該指數(shù)選取40只業(yè)務(wù)涉及半導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體設(shè)備等領(lǐng)域的上市公司證券作為樣本，反映板塊整體表現(xiàn)，為投資者布局半導(dǎo)體設(shè)備賽道提供了高效的指數(shù)化工具。